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结论 开发🚍高数值孔径（H📐igh-NA）🔒专用光刻和图案🦇化技术需🔡要采用整体方法🇬🇱🛐，才能验证其三大🇸🇦优势：相较于0.🕸🇭🇺33NA EU🛁🍒V光刻技术，在👉分辨率和🖱图像对比度🇫🇰方面实现提升；🍃🔇通过单次图🇸🇸🗾案化简化工😔🦋艺；以及通过1.🇹🇿📷5D、2D和曲🐧🇰🇼面设计实现设计🎣🤝灵活性💚。曲线设计已被🇧🇹证明对多种应用场🕔景都有益，♉1️⃣从标准👔💳单元设计到🤭😱源/漏极接触和栅🆒🇸🇲极重新布线🦀🧒，再到布🥤局布线🔩🛀设计📍👽。
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